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随着医疗和消费类电子产业的发展，对无尘室自动化解决方案的需求在迅速地增加。控制消费类设备的微型芯片都是从一个精细的硅片上切割下来的，而该硅片是由专门设计的机器人在一个无尘室环境中进行处理的。在某些医疗和制药应用中使用的机器人需要在符合无尘室标准的同时，实现极快的速度和可重复性。川崎提供的技术可以解决如今在无尘室应用方面的挑战。
无尘机器人
用于半导体和电子行业
NTS系列机器人
用于半导体和电子行业
NTS系列机器人
高性能专用搬运机器人
川崎提供了业界**的全系列半导体和电子搬运机器人。这些机器人是专为在无尘室中应用而制造的，包括ISO 1级。速度、准确度以及伸展范围使这些机器人适合搬运精密的半导体晶圆、LCD面板、有机EL，以及太阳能电池板。
仅使用一台机器人，且无需行走设备，即可支持从2FOUP到3FOUP的EFEM。
高精度和平稳运动。通过川崎**的驱动装置实现了高精度和高刚性的操作。
符合SEMI-F47标准。
符合SEMI-S2标准。充分考虑环境和安全性。center;"> 实现高速的更大吞吐量
川崎提供的各种机器人和设备适用于ISO 1级、2级和5级无尘室的分类。这些无尘室机器人拥有引以为傲的业界**的速度、可重复性和可靠性，而这些在以需求量增加为重点的行业内是关键的因素。为无尘室应用研制出的机器人手臂的设计考虑到了易用性，包括通臂电缆和管路技术、接口连接外围设备的标准，以及针对半导体系列的全自动晶圆处理的教学方案。
川崎拥有高速、准确和可靠的技术，可以帮助您达到您对无尘室自动化的目标。
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